物質在不同溫度、不同壓力下會以不同型態的相存在，除了氣、液、固三相外，當某一流體之溫度與壓力高於本身之臨界溫度(Critical temperature，Tc)及臨界壓力(Critical pressure，Pc)時，氣相與液相會形成均勻相，物質即進入了超臨界狀態，稱之為超臨界流體(supercritical fluid，簡稱SCF)。